T_ZGM 014-2023 中文版 半导体超纯水制备脱气膜组件认证技术规范.docxVIP

T/ZGM014-2023中文版半导体超纯水制备脱气膜组件认证技术规范

标准编号：T/ZGM014-2023

标准名称：半导体超纯水制备脱气膜组件认证技术规范

发布机构：中国膜工业协会

发布日期：2023年12月01日

实施日期：2024年01月01日

文档版本：官方中文版完整合规版

适用领域：12英寸/8英寸先进晶圆厂、第三代半导体、先进封装超纯水制备系统专用中空纤维脱气膜组件的产品设计、出厂检验、第三方认证、进场验收、运维判定、国产化替代合规核查

规范价值：国内首套半导体级超纯水专用脱气膜组件认证标准，终结民用、工业级脱气膜与半导体级产品混用乱象，统一脱气效率、痕量析出、超低污染、长期稳定性核心量化指标，解决先进制程DO/CO?残留超标、界面氧化、器件漏电、水质波动等行业核心痛点，支撑半导体超纯水系统国产化合规替代与高端制程良率保障

目次

1范围

2规范性引用文件

3术语、定义与符号

4产品分类、型号与工况条件

5原材料与结构通用技术要求

6核心性能指标认证要求（强制性）

7超低析出与洁净度认证要求（半导体专属）

8机械性能、耐压耐温与耐久可靠性要求

9标准测试条件与试验方法

10产品认证流程、分级与判定规则

11出厂检验、型式检验与抽样规则

12标识、包装、运输与储存规范

13安装投运与运维适配要求

附录A（规范性）半导体脱气膜组件标准测