SEMI F19-2021 中文版 超纯水系统不锈钢润湿表面质量与处理规范.docxVIP

SEMIF19-2021中文版超纯水系统不锈钢润湿表面质量与处理规范

前言

SEMIF19-2021是国际半导体设备与材料协会（SEMI）发布的半导体超纯水（UPW）及高纯化学品输送系统不锈钢润湿表面专属权威规范，替代SEMIF19-15旧版标准，是当前全球晶圆厂超纯水管道、储罐、阀件、接头润湿表面材质选型、抛光工艺、酸洗钝化、洁净处理、验收判定、运维管控的唯一通用强制性标准。

在28nm～1nmFinFET、GAA全制程芯片量产体系中，超纯水系统不锈钢内壁的粗糙度、钝化层完整性、表面洁净度、金属析出水平，直接决定ppq/ppt级痕量杂质、纳米颗粒、微生物滋生、二次解析污染的管控上限。传统普通抛光、简易钝化工艺存在表面微观凹凸、游离铁残留、钝化层疏松、碳化物偏析缺陷，会持续引发水质二次污染，是先进制程良率波动的隐性核心诱因。

SEMIF19-21重点升级了EP电解抛光表面分级、微观形貌判定、钝化工艺参数、表面污染物限值、析出性能验收、长期稳定性考核核心条款，精准适配SEMIF63-24、ASTMD8267-24先进制程水质与系统设计要求。本文档为原版条文完整汉化+工程落地解读+工艺实操指南+验收判定细则的完整版Word规范，可直接用于产线施工标准、设备采购规格书、审厂资料、工艺培训、工程验收与质量复盘。

0总则

0.1标准定位

本标准规定了半导体超纯水、高纯