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喷雾热解法制备Al掺杂ZnO薄膜的方法概述

独特的物理和化学性质使ZnO薄膜兼容于各种合成和沉积技术。薄膜沉积方法有脉冲激光沉积、溶胶-凝胶、电沉积、喷雾热解等。与其他技术相比，喷雾热解技术具有成本低、简单、灵活、短时间内大面积沉积高质量薄膜等优点[16]，因此喷雾热解法已经成为工业应用中被广泛接受的薄膜沉积方法。

S.Goudarzi等人[17]采用喷雾热解法在玻璃衬底上制备Mg掺杂ZnO薄膜，将[Zn(CH3COO)2.2H2O]和[Mg(NO3)2.6H2O]作为前体盐，首先在丙酮和乙醇中进行超声清洗，在氩气中流动干燥，然后溶于去离子水中，连续搅拌得到喷雾溶液。在衬底温度分别为125℃、