CN119650497A 一种用于混合键合的键合头和键合方法 (华中科技大学).pdfVIP

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  • 2026-07-03 发布于重庆
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CN119650497A 一种用于混合键合的键合头和键合方法 (华中科技大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650497A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411828710.3

(22)申请日2024.12.12

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人吴豪何涛谢斌尹周平

(74)专利代理机构武汉华之喻知识产权代理有

限公司42267

专利代理师张彩锦

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书1页说明书8页附图6页

(54)发明名称

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