CN119830611A 一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法 （星奇(上海)半导体有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119830611A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510307614.2

(22)申请日2025.03.17

(71)申请人星奇（上海）半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区玉宇路

1068号2幢202室

(72)发明人张利陈新

(74)专利代理机构上海申君律师事务所31594

专利代理师张金金

(51)Int.Cl.

G06F30/20(2020.01)

C23C16/52(2006.01)

G06F111/10(2020.01)

G06F119/14(2020.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨

识的建模方法

(57)摘要

CN119830611A本申请提供一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法，应用于半导体制造技术领域，通过应用质量守恒定律和理想气体状态方程，构建了一个描述腔室内压力随时间变化的数学模型，不仅能够精确预测腔室内的压力变化，而且能够通过参数辨识过程，实时确定关键的系统参数，显著提高了压力控制的精度和响应速度，同时增强了系统的适应性和稳定性，有助于优化薄膜沉积过程，提升产品的质量和均匀