真空与薄膜技术复习题试卷及答案.docxVIP

真空与薄膜技术复习题试卷及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每题2分，共40分）

1.真空度单位Pa与Torr的换算关系是（）

A.1Pa=7.5×10?3Torr

B.1Torr=133.3Pa

C.1Pa=1Torr

D.1Torr=100Pa

2.以下属于机械泵工作原理的是（）

A.依靠高速转子碰撞气体分子

B.利用蒸汽射流携带气体

C.通过容积周期性变化压缩气体

D.基于气体分子电离效应

3.热偶真空计的测量范围通常为（）

A.10??~10?1Pa

B.102~10?Pa

C.10?1~102Pa

D.10??~10?1Pa

4.扩散泵的工作介质通常是（）

A.氮气

B.水银或特殊油

C.氢气

D.氩气

5.蒸发镀膜与溅射镀膜的主要区别在于（）

A.蒸发镀膜需要高温，溅射镀膜不需要

B.蒸发镀膜粒子能量高，溅射镀膜粒子能量低

C.蒸发镀膜采用物理气化，溅射镀膜采用离子轰击

D.蒸发镀膜适用于所有材料，溅射镀膜仅适用于金属

6.分子泵的主要特点是（）

A.抽速大，但需