YST-锡及锡合金蒸发料编制说明.docxVIP

《锡及锡合金蒸发料》行业标准

编制说明

（草案）

2026年5月

锡及锡合金蒸发料编制说明

1工作简况

任务来源

根据工业和信息化部办公厅《关于印发2026年第二批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅科函〔2026〕192号）的要求，下达了行业标准《锡及锡合金蒸发料》（标准项目号为2026-0484T-YS）的修订任务，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，标准起草单位为有研亿金新材料有限公司、杭州士兰集昕微电子有限公司、厦门士兰明镓化合物半导体有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司，完成年限2028年5月。

1.2标准制定的必要性

高纯金属蒸发材料是高端电子信息产业的关键支撑材料之一，在真空条件下利用电子束或热源加热金属蒸发料，使其从固态转变成气态，形成原子并以直线运动方式运送，最终凝结并沉积在衬底（硅片）上而形成薄膜。高纯金属蒸发料，以其优异独特的电学、热学和力学性能等广泛应用于电子薄膜材料的制备，尤其是在硅片背面金属化方面，高纯金属蒸发料成为不可或缺的基础材料之一。通常用于制造电子元件、光学薄膜、太阳能电池、涂层和其他高科技应用中。蒸发材料的选择和使用对于产品的性能和质量具有重要影响。在《国家战略性新兴产业发展规划》、《中国制造2025》和《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将“高纯金属蒸发材料”作为重点领域急需突破的材料。

随着半导体集成电