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磁控溅射靶材更换流程

磁控溅射靶材更换流程

一（1）磁控溅射靶材更换前的准备工作是整个流程的基础环节。首先需要确认设备处于完全停机状态并切断电源，包括主电源、射频电源和冷却水系统，确保操作人员安全。然后检查靶材库存，核对新靶材的规格型号是否与原靶材一致，包括尺寸、纯度、材料成分等参数，避免因规格不符导致安装困难或溅射性能下降。同时准备必要的工具，如扭矩扳手、六角扳手、无尘手套、酒精和无尘布、真空脂等，并对工具进行清洁处理，防止杂质污染真空腔体。此外，还需查看设备日志，记录当前靶材的使用寿命和累计溅射时间，为后续更换周期统计提供数据参考。操作人员应穿戴洁净服、口罩和发帽，进入洁净室前经过风淋除