磁控溅射设备接地规范.docxVIP

磁控溅射设备接地规范

磁控溅射设备接地规范

一、保护接地（PE）与工作接地（FE）在磁控溅射设备中的技术规范与实施要点

磁控溅射设备属于大功率、高电压、高真空的精密工艺装备，其直流或中频脉冲溅射电源通常输出数百伏至数千伏的偏压，射频（RF）溅射电源工作频率可达13.56MHz，且设备配有大型分子泵、机械泵、高压充气系统及复杂的PLC与工控机控制系统。因此，建立规范、低阻抗、分层清晰的接地系统是保障人身安全和工艺稳定性的首要条件。首先是保护接地（ProtectiveEarthing，PE），依据GB/T5226.1《机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件》及GB/T3797《