CN119833446A 基板干燥方法及基板处理装置 （株式会社斯库林集团）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833446A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510040010.6

(22)申请日2019.11.11

(30)优先权数据

2018-2117152018.11.09JP

(62)分案原申请数据

201911095662.02019.11.11

(71)申请人株式会社斯库林集团地址日本京都府

(72)发明人佐佐木悠太高桥弘明尾辻正幸

(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003

专利代理师崔炳哲

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书26页附图15页

(54)发明名称

基板干燥方法及基板处理装置

(57)摘要

CN119833446A向基板的上表面供给包括升华性物质和溶剂的溶液即干燥前处理液。然后，通过使溶剂从基板上的干燥前处理液蒸发，从而在基板上的干燥前处理液中析出升华性物质的固体。然后，使升华性物质的固体的至少一部分溶解于基板上的干燥前处理液。然后，通过使溶剂从溶解有升华性物质的固体的干燥前处理液蒸发，从而在基板上析出升华性物质的固体。然后，通过使升华性物质的固体升华，从而从基板的上表面除去升

CN119833446A