集成电路有机废水处理技术研究进展与趋势电化学技术.docx

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集成电路有机废水处理技术研究进展与趋势电化学技术

前言

由于集成电路制造具有高度的设备依赖性和工艺波动性，容易造成废水成分的瞬间剧烈变化。例如，在氧化刻蚀工序中，氧化剂投加量的微小误差会导致废水pH值、氧化还原电位（ORP）和有机物种类发生显著变化，进而影响后续处理单元的负荷。这种工艺参数的动态变化使得废水具有时相性特征，即在不同时间段的废水水质截然不同，难以实现基于固定水质指标的连续稳定运行。因此，研究重点正从传统的总量控制向实时水质在线监测和自适应控制策略转变，需要开发能够实时感知工艺波动并自动调整处理单元运行状态的智能控制系统，以应对高毒性、高浓度及复杂组成的有机废水，确保出水