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磁控溅射记录填写规范

磁控溅射记录填写规范

一、磁控溅射工艺基础信息与镀膜前准备记录在填写规范中的作用

磁控溅射记录填写的首要环节是对基础信息和镀前准备状态的完整记载，这是实现工艺可追溯性和质量判定的根本依据。任何一份磁控溅射镀膜记录表都必须先如实填写设备标识、批次信息及样品预处理情况，确保后续所有工艺参数均可对应到唯一的实验或生产批次。

（1）设备基本信息与批次标识填写规范。记录表首页必须填写设备名称设备型号设备编号所在实验室或车间编号，设备编号应使用实验室或工厂固定资产台账中的统一编码，不得简写或用绰号代替。生产或实验批次号应按照质量体系规定的编号规则填写，如SP-2026XXXX-01