CN119833378A 一种基于离散点迭代分析轮廓演变的三维微结构刻蚀方法 （中国人民解放军国防科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833378A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510301429.2

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人中国人民解放军国防科技大学

地址410073湖南省长沙市开福区德雅路

109号

(72)发明人石峰周港彭星田野巩保启郭双鹏

(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008

专利代理师谭武艺

(51)Int.Cl.

H01J37/302(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书3页说明书8页附图7页

(54)发明名称

一种基于离散点迭代分析轮廓演变的三维

微结构刻蚀方法

(57)摘要

CN119833378A本发明公开了一种基于离散点迭代分析轮廓演变的三维微结构刻蚀方法，包括首先在待刻蚀样件的表面镀制掩膜；根据待刻蚀样件的期望结构建立坐标系，针对当前时刻的待刻蚀点集合中的每一个待刻蚀点分别计算其单位切线角度、实际束流入射角度、实际刻蚀因数，并以dt为时间增量，根据当前时刻的待刻蚀点集合计算下一时刻t+1的待刻蚀点集合的待刻蚀点坐标，重复迭代直至下一时刻t+1的待刻蚀点集合满足期望值；然后将待刻蚀样件放入反应离子束刻蚀设备，根据各个待刻蚀点的实际束流入射