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磁控溅射作业时间规范

磁控溅射作业时间规范

一、开机前准备与真空获取阶段的作业时间规范

（1）外围辅助系统启动与环境确认的时间要求。磁控溅射设备在每日首件作业或长时间停机后重新投用时，操作人员须首先完成外围辅助系统的启动与状态确认，该环节标准耗时不应少于8分钟且不多于15分钟。具体时间分配为：开启冷却循环水系统后须静置观察回水压力表读数是否稳定在0.2至0.4兆帕范围，观察时长不得少于3分钟，确认无漏水、无气泡、水温处于15至25摄氏度正常范围；开启压缩空气总阀后检测工厂压缩空气压力是否达到0.5至0.7兆帕，确认气动阀门动作正常，耗时约2分钟；检查氩气、反应气体（氧气或氮气）钢瓶减压阀出口