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化学气相设备接地安全规范

化学气相设备接地安全规范

一、保护接地系统与设备外壳安全接地的技术要求

化学气相沉积设备（ChemicalVaporDeposition，简称CVD设备）属于典型的集高温、高压、射频电源、剧毒及易燃工艺气体、精密自动控制于一体的复杂半导体工艺装备，其接地安全直接关系到操作人员生命安全、设备自身运行可靠性以及工艺产品的良率。在CVD设备接地体系中，保护接地（ProtectiveEarthing，PE）是最基础也是最重要的组成部分，主要目的是防止设备金属外壳因绝缘老化、潮湿或内部电气故障出现带电而引发人身触电事故。依据GB/T5226.1《机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件》、SEMIS2《环境、健康与安全通用要求》以及GB50054《低压配电设计规范》的相关规定，CVD设备所有外露可导电部分——包括反应腔室金属外壳、主框架机体、电气控制柜体、加热模组外壳、真空泵组金属外壳、RF射频匹配器外壳、冷却水分配单元（CDA/PCW）金属箱体、气体控制盘（GasBox）门板及箱体——均必须通过黄绿双色铜芯接地线可靠连接至建筑物共用接地装置或专用设备接地母排（GroundBusbar）。保护接地支线严禁通过设备底座自然接触地面或依靠设备间相互搭接代替正式接地线，每台CVD机台的保护接地引线应从机台专用接地端子直接引至接地汇流排，禁止多台