CN119283210A 一种SiC晶锭激光剥离生成晶片的方法和设备 (西湖仪器(杭州)技术有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-06 发布于重庆
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CN119283210A 一种SiC晶锭激光剥离生成晶片的方法和设备 (西湖仪器(杭州)技术有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119283210A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411803517.4

(22)申请日2024.12.10

(71)申请人西湖仪器(杭州)

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