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ICS29.045CCSH83

中华人民共和国国家标准

GB/T47097—2026

氮化铝单晶抛光片

Polishedmonocrystallinealuminumnitridewafers

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T47097—2026

Ⅰ

目次

前言 Ⅲ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4分类与牌号 1

5技术要求 2

6试验方法 4

7检验规则 4

8标志、包装、运输、贮存及随行文件 5

9订货单内容 6

附录A(规范性)氮化铝单晶抛光片位错密度测试方法 7

GB/T47097—2026

Ⅲ

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委