CN119836016A 一种光电探测器及其制造方法 （上海新微技术研发中心有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119836016A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202311316878.1

(22)申请日2023.10.11

(71)申请人上海新微技术研发中心有限公司

地址201800上海市嘉定区城北路235号1

号楼

(72)发明人李欣雨涂芝娟蔡艳汪巍

(74)专利代理机构北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙)11535

专利代理师吕少楠

(51)Int.Cl.

H10F30/22(2025.01)

H10F77/14(2025.01)

H10F77/1223(2025.01)

H10F71/00(2025.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种光电探测器及其制造方法

(57)摘要

CN119836016A本申请提供一种光电探测器及其制备方法。该光电探测器包括：第一光波导，其设置于衬底的表面，沿第一方向延伸；第一掺杂区，其具有第一掺杂类型，在第二方向上位于该第一光波导的一侧；以及第二掺杂区，其具有不同于该第一掺杂类型的第二掺杂类型，在该第二方向上位于该第一光波导的另一侧，该第一方向和该第二方向平行于该衬底的表面，并且该第一方向与该第二方向交叉，该第一光波导包括第一部分和第二部分，在垂直于该衬