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磁控溅射作业人员守则

磁控溅射作业人员守则

一（1）磁控溅射作业人员必须经过专业培训并取得相应资质后方可上岗操作。操作前应仔细阅读设备操作手册，熟悉磁控溅射设备的基本结构、工作原理和各部件功能。作业人员需掌握真空系统、电源系统、气路系统、冷却系统等主要模块的操作方法，了解靶材的种类、特性及适用范围。对于不同型号的设备，应针对性地学习其特殊操作规程和安全注意事项。首次操作前，应在有经验的师傅指导下完成至少三次完整的工艺循环，确保熟练掌握开机、抽真空、充气、起辉、溅射镀膜、关机等全流程操作。作业人员还应定期参加公司组织的技能培训和考核，及时更新知识储备，了解行业新技术和新工艺的发展动态。

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