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MEMS微振镜谐振频率温度漂移补偿与FOV稳定性验证

摘要

MEMS激光雷达作为自动驾驶与机器人导航的核心传感器，其扫描视场角（FOV）的稳定性直接决定了点云数据的几何测距精度。然而，MEMS微振镜的谐振频率受温度影响显著，导致驱动信号失谐，进而引起振幅衰减与FOV波动，严重制约了激光雷达在极端温差环境下的可靠性。本课题针对这一核心痛点，设计了一套基于电容反馈锁相环（PLL）与温度查表补偿的微振镜驱动控制系统，旨在实现全温区内的频率锁定与视场角稳定。

本文首先分析了MEMS微振镜的热力学特性与频率漂移机理，确立了以-40℃至85℃温域内频率漂移率小于0.1%、FOV波动小于0.5°为设计目标。其次，提出了“闭环锁频+开环查表”的双重补偿策略：利用电容传感检测微振镜运动相位，通过数字锁相环实现谐振频率的实时跟踪；结合高精度温度传感器，建立温度-频率漂移模型并构建补偿查找表（LUT），对PLL输出进行预校正。

在系统实现层面，完成了基于STM32嵌入式平台的硬件电路设计与控制算法部署。通过搭建高低温温箱实验环境，对系统进行了全温区性能验证。测试结果表明，在-40℃至85℃范围内，系统成功将谐振频率漂移控制在0.08%以内，FOV波动范围仅为±0.25°，均优于设计指标。本设计有效解决了宽温域下MEMS微振镜扫描失稳问题，具有重要的工程应用价值。

第一章绪论

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