光电子芯片——基础、应用及制造 课件 第8章 光电子芯片新技术及应用.pptx

1;8.1硅光技术

8.1.1.概述;由于硅是间接带隙半导体（见1.2.5节），其光发射效率较低，难以直接制作高效的光源。因此，现代硅光子技术通常采用直接带隙III-V族半导体材料（如砷化镓GaAs或磷化铟InP）制作的激光器作为光源，通过异质集成或外部耦合的方式与硅基芯片进行连接。这种混合集成方案可以充分利用III-V族材料优异的发光效率，同时保持与硅基工艺的兼容性。;8.1.2英特尔硅基光电子芯片平台;图8.1.3三种不同的多波长激光器实现方案

a）8通道DFB阵列接入AWGb）8通道DFB阵列频谱图c）200GHz间距的多段硅波导光栅单腔4λ激光器设计