光电子芯片—基础、应用及制造;光电子芯片—基础、应用及制造;2.1.2AWG复用/解复用器(WDM/DWDM);芯片尺寸为600?μm?×?400?μm,包括0.8?μm宽的直波导和0.5?μm宽的弯曲波导,曲率半径为10?μm。在输入/输出波导两侧放置几个虚拟通道确保制造工艺均匀性,包括光刻、蚀刻和平面化。该AWG自由光谱范围为25nm,插入损耗2.26~2.6dB,串扰范围为-16.24~-17.39dB。;2.2光滤波器
2.2.1法布里-珀罗(F-P)谐振腔;法布里-珀罗(F-P)谐振腔工作原理;2.2.2
法布里-珀罗(F-P)
滤波器
;2.2.3
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