高效多晶硅铸锭技术及生产详解.pptVIP

多晶铸锭炉介绍与硅锭生产流程;培训内容;主要用途和特性;设备的组成和工作原理;1炉体部件;2加热隔热系统;3真空与供气系统;4冷却系统;5电源供应与控制系统;1)工控机

整个控制系统以工控机操作为上位机，上位机完毕控制

工艺的设置，控制过程中的监控，各种反馈信息（如：温度、

水流量、隔热区位置等）出现异常报警显示，统计和统计整个硅结晶过程的各种参量的变化情况并生成图表。

2）SNPA智能处理器

是控制系统的下位机单元，是核心单元，完毕对温度

的控制，真空度及充入氩气的压力控制，隔热笼的提升控制，结晶的速度，水流量的检测，并送达上位机。

3）加热器电源系统

涉及大容量的降压变压器以及可控硅的控制单元。

4）真空系统控制单元

涉及对真空泵的控制，真空度的检测，以及气体流量控制。

;5）检测单元

检测单元???及温度、水流量、隔热笼位置等检测。检测

器件有热电偶，红外测温仪，流量计以及位置反馈编码器

组成。

6）运动单元控制

运动单元控制下炉体的升降运动、隔热区的提升等动作。

7）系统供电单元

系统电源单元涉及总电源开关，控制柜内配电保护，以

及UPS等组成。

;工作原理;通过工控机设置完毕各种工艺参数和预定参数后，送达SNAP智能控制器。

详细过程：将经过SiN喷涂处理后