CN119836680A 表面加工方法 （株式会社电装）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119836680A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202380044949.9

(22)申请日2023.05.15

(30)优先权数据

2022-0930272022.06.08JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.04

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0181392023.05.15

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/238608JA2023.12.14

(71)申请人株式会社电装

地址日本

(72)发明人青木一史丸野尚纪

巴赫曼·索坦尼窟贯太郎古川隆太加藤裕也

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师李书慧

(51)Int.Cl.

H01L21/304(2006.01)

B23H5/00(2006.01)

C25F3/16(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图5页

(54)发明名称

表面加工方法

(57)摘要

CN119836680A一种表面加工方法，其为将被加工物(W)的表面、即被加工面(W1)平坦化的表面加工方法，包含以下的步骤、处理、或者工序：通过以夹着碱性电解液(S)使磨石层(32)与上述被加工面相