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气相沉积设备报废标准

气相沉积设备报废标准

一、技术性能指标劣化与功能性报废判定在气相沉积设备报废标准中的核心地位

气相沉积设备包括化学气相沉积设备即CVD系列如LPCVD、PECVD、APCVD、MOCVD，物理气相沉积设备即PVD系列如磁控溅射、热蒸发、离子镀，以及原子层沉积设备即ALD，均属于高精度、高真空、多气体路集成的复杂工艺装备。判定此类设备是否应当报废，首要依据是设备关键核心技术性能指标经反复维修、调试、校准后仍无法恢复至满足最低工艺要求水平，且无法降级使用。具体判定细则如下：

（1）极限真空度与抽速衰减超限。气相沉积设备依赖高真空或特定工艺压力环境，真空系统由机械泵、罗茨泵、