原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
中华人民共和国国家知识产权局发明专利申请申请公布号申请公布日申请号申请日申请人上海华力集成电路制造有限公司地址上海市浦东新区康桥东路号幢室发明人吕佳韦专利代理机构上海浦一知识产权代理有限公司代理人戴广志权利要求说明书说明书幅图发明名称薄膜的
（10）申请公布号
（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
中华人民共和国国家知识产权局发明专利申请申请公布号申请公布日申请号申请日申请人上海华力集成电路制造有限公司地址上海市浦东新区康桥东路号幢室发明人吕佳韦专利代理机构上海浦一知识产权代理有限公司代理人戴广志权利要求说明书说明书幅图发明名称薄膜的
（10）申请公布号
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