传感器与智能检测技术光栅与授课97课件讲解.pptVIP

《传感器与智能检测技术》

光栅与光栅式传感器授课教师：张继威

光栅工作原理02课程内容计量光栅光栅式传感器的结构和工作原理03光栅式传感器的典型应用04光栅的结构01

01光栅的结构计量光栅是利用光栅的莫尔条纹现象，以线位移和角位移为基本测试内容，应用于高精度加工机床、光学坐标镗床、制造大规模集成电路的设备及检测仪器。由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅。根据其材料和结构的不同，光栅可分为透射光栅和反射光栅。

02光栅的工作原理计量光栅通常由两块光栅组成：标尺光栅和指示光栅。将这两块光栅重叠放置，使它们的刻线之间保持一个微小的夹角θ，在光源照射下，由于光的挡光效应或衍射作用，会在与光栅刻线大致垂直的方向上形成明暗相间的条纹，即莫尔条纹。

02光栅的工作原理在两光栅刻线重合处，光透过形成亮带；在刻线错开处，光被遮挡形成暗带。这些明暗条纹就是莫尔条纹。

02光栅的工作原理莫尔条纹的特性：（1）位移的放大作用莫尔条纹的间距（宽度）与光栅的栅距（相邻刻线之间的距离）和夹角θ有关。当θ很小时，莫尔条纹间距会远大于光栅栅距，实现光学放大。

02光栅的工作原理莫尔条纹的特性：（2）位移对应性当标尺光栅和指示光栅相对移动时，莫尔条纹会随之移动，且移动方向与光栅移动方向垂直。光栅每移动一个栅距，莫尔条纹相应移动一个条纹间距，通过检测莫尔条纹的