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GBT-碳化硅单晶片残余应力的测试-光弹法.pdfVIP

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  • 2026-07-08 发布于上海
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GBT-碳化硅单晶片残余应力的测试-光弹法.pdf

    ICS29.045

    CCSH83

    中华人民共和国国家标准

    GB/TXXXXX—XXXX

    碳化硅单晶片残余应力的测试

    -光弹法

    TestMethodforResidualStressofSiliconCarbideSingleCrystalWafers

    —PhotoelasticMethod

    （征求意见稿）

    XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

    GB/TXXXXX—XXXX

    前言

    本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：

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