原创力文档线锯参数对晶片损伤层的影响探究
目录
TOC\o1-3\h\u25626线锯参数对晶片损伤层的影响探究 1
247591.1引言 1
79511.2电镀金刚石线锯形貌模型 2
32421.2.1线锯上磨粒的等效简化 2
149501.1.2磨粒突露高度及位置表征 3
154211.3单晶硅晶片损伤层分析 4
24361.3.1单颗磨粒引起的损伤 4
34531.3.2线锯上磨粒的刻划深度 5
208871.3.3晶片损伤层的形成研究 6
68871.4计算结果与分析 7
1.1引言
单晶硅晶片的表面质
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