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半导体晶圆制造设施瓶颈检测与动态调度策略.pdf

半导体晶圆制造设施瓶颈检测与动态调度策略.pdf

    会议录2009年冬季仿真会议M.D.Rossetti,R.R.Hill,B.Johansson,A.Dunkin

    和R.G.Ingalls编辑

    晶圆制造设施的瓶颈检测和动态调度策略

    根奥利弗·

    应用计算机科学德累斯顿工

    业大学德累斯顿，01187，德国

    根据约束理论（TOC），像晶圆制造设施（晶圆厂）这样的复杂制造系统的性能主要由其瓶颈决定。在本文

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