原创力文档ICS77.040CCSH21
中华人民共和国国家标准
GB/T14847—2025代替GB/T14847—2010
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试
红外反射法
Testmethodforthicknessoflightlydopedsiliconepitaxiallayersonheavilydoped
siliconsubstrates—Infraredreflectancemethod
2025-10-31发布2026-05-01实施
国家市场监督管理
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