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300GHz硅基相控阵天线波束扫描与增益测量验证

摘要

随着第六代移动通信技术（6G）与太赫兹成像技术的迅猛发展，300GHz频段因其丰富的频谱资源成为研究热点。然而，该频段面临路径损耗大、硅基工艺增益低等现实痛点。本课题旨在设计并验证一款基于硅基工艺的300GHz4×4相控阵天线，实现高增益、宽角度波束扫描及高功率辐射性能。论文首先分析了太赫兹天线的设计挑战与需求，确立了增益大于20dBi、扫描范围±50°、EIRP大于22dBm及带宽大于20GHz的核心指标。随后，完成了天线阵列与移相器的协同设计，采用多层堆叠贴片结构拓展带宽，利用反射型移相器实现相位控制。

全文遵循“需求分析—总体设计—详细设计—实现—测试”的工程逻辑展开。第一章绪论阐述了研究背景与国内外现状；第二章介绍了硅基太赫兹关键技术；第三章进行了详细的需求分析与指标分解；第四章提出了系统总体架构与模块划分；第五章深入探讨了阵列与移相器的详细设计；第六章展示了加工实物与测试环境搭建；第七章对波束扫描、增益及EIRP进行了全面测试验证。测试结果表明，该天线在280-305GHz频段内驻波比小于2，实测增益峰值达21.5dBi，±50°扫描范围内增益波动小于3dB，EIRP达到23.1dBm，各项指标均满足设计要求。本设计验证了硅基工艺在太赫兹频段实现高性能相控阵的可行性，为未来高速无线通信系统的开发提