CN119936048A 基于白光干涉显微技术的碳化硅晶圆表面缺陷检测方法 (河北工业大学).pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约9.49千字
  • 约 9页
  • 2026-07-11 发布于重庆
  • 举报

CN119936048A 基于白光干涉显微技术的碳化硅晶圆表面缺陷检测方法 (河北工业大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119936048A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202411817065.5

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人河北工业大学

地址300401天津市北辰区西平道5340号

(72)发明人廉玉东齐萱王雨雷吕志伟

(74)专利代理机构天津市北洋有限责任专利代

理事务所12201

专利代理师李林娟

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/45(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

G01B11/24(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档