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四旋翼理论与硬件指南：MEMS惯性传感器应用与发展.pdf

四旋翼理论与硬件指南：MEMS惯性传感器应用与发展.pdf

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    第7章

    MEMS惯性传感器

    7.1引言

    对低成本传感器的需求，以加速度和角运动的测量，为微机电系统（MEMS）传感器

    的发展了主要动力。一个典型的现代应用是在中使用惯性传感器，例如汽车；第

    15章将详细介绍这些设备在该应用中的当前使用范围以及许多其他应用的示例。

    MEMS设备是过去25年中惯性传感器领域最令人兴奋的发展之一。这些设备克服了许多

    惯性系统在许多潜在应用中采用的特点，尤其是在成本、尺寸和功耗成为决定性参

    数的情况下。许多

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