电子真空镀膜工专项题库(附答案与解释)
一、单选题(只有一个正确答案)
1.电子真空镀膜过程中,如果真空室内的压强过高,最可能导致膜层出现什么缺
陷?
A.附着力强
B.颗粒大
C.致密性好
D.厚度均匀
答案:B
解析:真空度不足会导致气体分子密度大,撞击发的原子/分子,使其发生散射
或非弹性碰撞,从而形成粗糙的颗粒状膜层。
2.在多弧离子镀膜中,磁控溅射和弧光放电的主要区别是什么?
A.溅射源不同
B.能量密度不同
C.镀膜材料不同
D.基底温度不同
答案=B
解析:磁控溅射是气体放电产生的离子动能较
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