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- 2026-07-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119230387A
(43)申请公布日2024.12.31
(21)申请号202411774436.6
(22)申请日2024.12.05
(71)申请人中国电子科技集团公司第四十六研
究所
地址300220天津市河西区洞庭路26号
(72)发明人李贺董增印王英民程红娟
张嵩王双
(74)专利代理机构石家庄国为知识产权事务所
13120
专利代理师刘少卿
(51)Int.Cl.
H01L21/02(2006.01)
H01L29/24(2006.01)
C23C16/02(2006.01)
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