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mim波导耦合谐振腔系统中fano共振效应及其传感特性研究

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mim波导耦合谐振腔系统中fano共振效应及其传感特性研究

摘要：随着微纳光电子技术的快速发展，微纳波导耦合谐振腔系统因其高灵敏度、高选择性和高集成度等优点，在传感领域展现出巨大的应用潜力。本文针对MIM波导耦合谐振腔系统中Fano共振效应及其传感特性进行研究，首先介绍了Fano共振效应的基本原理及其在传感领域的应用，然后详细分析了MIM波导耦合谐振腔的结构、工作原理和设计方法，接着通过理论分析和数值模拟研究了Fano共振在MIM波导耦合谐振腔系统中的实现，进一步探讨了Fano共振对传感性能的影响，最后对MIM波导耦合谐振腔系统的传感特性进行了实验验证，结果表明，该系统具有优异的传感性能，为微纳光电子传感领域的研究提供了新的思路和方法。

近年来，随着科技的不断进步，微纳光电子技术在我国得到了迅速发展。微纳波导耦合谐振腔系统作为一种新型的光波导结构，因其具有高灵敏度、高选择性和高集成度等优点，在传感领域具有广泛的应用前景。Fano共振作为一种特殊的共振现象，在微纳波导耦合谐振腔系统中具有重要的应用价值。本文针对MIM波导耦合谐振腔系统中Fano共振效应及其