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基于干法刻蚀技术氮化镓MEMS加工工艺研究.pdfVIP

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  • 2026-07-15 发布于北京
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基于干法刻蚀技术氮化镓MEMS加工工艺研究.pdf

    91纳米技术与精密工程Nanotechnology第9卷第1期

    第卷第期

    20111andPrecisionEngineering2011年1月

    年月

    使用干法刻蚀技术制造基于GaN的MEMS结构

    1，21，21，23

    ,L嘉楠,闫桂珍,(1.微/纳制造国家重点

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