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- 2026-07-16 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119601488A
(43)申请公布日2025.03.11
(21)申请号202411792646.8
(22)申请日2024.12.07
(71)申请人万华化学集团股份有限公司
地址264006山东省烟台市经济技术开发
区重庆大街59号
申请人万华化学集团电子材料有限公司
(72)发明人段一菲王新赫宗芳
(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限
公司44224
专利代理师白露雪
(51)Int.Cl.
H01L21/66(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
权利要求书
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