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半导体芯片制造安全生产规范.docx

半导体芯片制造安全生产规范.docx

    半导体芯片制造安全生产规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、组织职责 7

    三、安全管理体系 9

    四、风险识别与分级 13

    五、厂区规划与布局 15

    六、洁净室安全要求 19

    七、化学品安全管理 22

    八、气体系统安全管理 25

    九、电气安全管理 26

    十、机械设备安全管理 30

    十一、工艺过程安全控制 33

    十二、个人防护装备 39

    十三、应急准备与响应 42

    十四、事故隐患排查 46

    十五、培训与能力要求 50

    十六、承包商安全管理 53

    十七、监测与检查 56

    十八、记录与文件管理

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