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高K介电膜材料应用与性能解析.pdf

高K介电膜材料应用与性能解析.pdf

    （19）中华人民共和国国家知识产权局

    （12）发明专利申请

    质审查的生效授权授权专利权的终止权利要求说明书高介电膜的权利要求说明书内容是请下载后查看说明书高介电膜的说明书内容是请下载后查看

    （10）申请公布号CN1930687A

    （43）申请公布日2007.03

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