T_GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范.docxVIP

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TGVS

团体标准

T/GVS014—2024

半导体设备用低温泵评价规范

Evaluationspecificationforcryogenicvacuumpumpsusedin

semiconductorequipment

2024-08-02发布2024-08-02实施

广东省真空学会发布

T/GVS014—2024

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4分类 2

5基本要求 2

6评价要求 3

7评价方法 4

8评价结果 4

附录A（规范性）评价指标的权重 5

附录B（规范性）200mm口径低温泵评价指标和判定依据 6

附录C（规范性）300mm口径低温泵评价指标和判定依据 10

参考文献 14

T/GVS014—2024

II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件