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基于电感传感器的微位移测量系统的设计.doc

基于电感传感器的微位移测量系统的设计.doc

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    基于电感传感器的微位移测量系统的设计

    1.概述

    1.1课题的研究背景和意义

    无论是科学研究还是生产实践，需要进行位移测量的场合非常多，可用于位移测量的传感器的种类也很多，其中用于直线位移测量的有电阻式、电感式、电容式、振弦式、编码式、感应同步器式、光栅式、磁栅式、光电式、霍尔效应式、磁敏电阻式、喷射式、激光式、复合式以及光纤式等，但这些传感器在实际应用中或多或少都存在着一些问题，有的设备复杂、成本高，有的对环境要求高，有的精度低、线性范围小，有的结

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