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熵权-TOPSIS法计算流程与示例、评价报告模板.pdfVIP

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  • 2026-07-18 发布于河南
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熵权-TOPSIS法计算流程与示例、评价报告模板.pdf

    T/SLDAXXX—XXXX

    附录A

    （规范性）

    强制性指标清单

    制程环境质量控制强制性指标清单见表A.1。

    表A.1制程环境质量控制强制性指标清单

    序号指标类别指标名称适用对象强制限值要求

    1洁净度关键站点悬浮粒子洁净度全品类符合6.2.1、6.3.1表中对应等级要求

    洁净区与非洁净区≥10Pa，不同等级洁净

    2洁净度洁净区压差全品类

    区≥5Pa

    3ESD管控接地系统接地电阻全品类≤4Ω

    4ESD

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