CN119715610A 一种利用条纹光栅板区分点状灰尘和气泡缺陷的装置和方法 （领先光学技术(江苏)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119715610A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411788108.1

(22)申请日2024.12.06

(71)申请人领先光学技术（江苏）有限公司

地址213000江苏省常州市常武南路588号

常州天安数码城12-2

(72)发明人黄良斌杨翼魏浩然阚海杰

(74)专利代理机构常州龙诚专利代理事务所

(普通合伙)32755

专利代理师张强

(51)Int.Cl.

G01N21/958(2006.01)

G01N21/88(2006.01)

G01N21/01(2006.01)