ISOTS 229332022 表面化学分析.二次离子质谱法.模拟离子质谱中质量分辨率的测量方法标准立项发展报告.docx

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表面化学分析.二次离子质谱法.模拟离子质谱中质量分辨率的测量方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—MethodforthemeasurementofmassresolutioninSIMS

摘要

本报告旨在全面阐述国际标准ISO/TS22933:2022《表面化学分析.二次离子质谱法.模拟离子质谱中质量分辨率的测量方法》的立项背景、发展历程、技术内容及其重要意义。二次离子质谱法（SIMS）作为