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高端科研用二次离子质谱（SIMS）中的团簇离子源与有机材料深度剖析三维成像

摘要

本报告聚焦科学仪器与高端测试设备领域，深度研究基于团簇离子源（Ar团簇、C60等）的二次离子质谱（SIMS）技术，及其在有机材料深度剖析与三维成像中的应用。研究范围涵盖有机/无机多层膜界面分析、有机光电器件与生物材料对低损伤、高分辨深度剖析测试设备的需求演变。

核心发现表明，随着有机光电器件（OLED、OPV）与生物医学材料研究的深入，传统单原子离子源（Ga?、Cs?、O??）因损伤严重、分子信息丢失，已无法满足复杂有机多层结构的高保真分析需求。团簇离子源，特别是Ar团簇（Ar??，n=500-