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CN119480715A 解键合装置、键合方法及解键合方法 （拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-21 发布于重庆
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CN119480715A 解键合装置、键合方法及解键合方法 （拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119480715A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202411773966.9

    (22)申请日2024.12.04

    (71)申请人拓荆键科（海宁）半导体设备有限公

    司

    地址314499浙江省嘉兴市海宁市海宁经

    济开发区芯中路8号3幢

    (72)发明人郭雨佳马双义

    (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

    司31100

    专利代理师徐伟

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/683(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页

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