CN119465094A 一种空间型ald沉积复合膜层的装置及工艺 （青岛四方思锐智能技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465094A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411771643.6

(22)申请日2024.12.04

(71)申请人青岛四方思锐智能技术有限公司

地址266000山东省青岛市自由贸易试验

区青岛片区前湾保税港区北京路45号

东办公楼二楼205-5-7室（A）

(72)发明人潘赛李英万国政聂鑫誉

刘连瑞翟洪涛

(74)专利代理机构北京北汇律师事务所11711

专利代理师李英杰

(51)Int.Cl.

C23C16/455(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

C23C16/458(2006.01