低温冷阱使用方法与维护指南.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

洗辊子摘要本发明提供一种不会使已被污染的清洗液滞留在基板上使清洗效果进一步地得到改善的清洗辊子本发明的清洗辊子具有辊子主体并且在辊子主体的外周面上植设有刷毛辊子主体具有构成清洗液流路的内部空间该内部空间借助连接器b与清洗液供给导管连接在辊子

(10)申请公布号

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